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光子晶圓激光微調解決方案

時間:2025-06-23 來源:新特光電 訪問量:1162

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核心特點:

  • 高精度校正

  • 自動化工藝

  • 無需熱調諧

  • 提升節(jié)能效果

核心優(yōu)勢:

  • 提高生產良率

  • 提升整體吞吐量

  • 降低功耗

  • 提高元件可持續(xù)性

我們的工藝開發(fā)專長

我們設有專門的應用實驗室,配備不同的移動平臺和計量設備,旨在我們的場地內全面測試并展示目標應用。這些實驗室旨在模擬真實世界條件,使我們能夠評估性能、完善解決方案,并有效展示該應用如何滿足特定需求。

我們與客戶合作,通過集成我們的激光解決方案來優(yōu)化他們的制造工藝。我們的專業(yè)能力確保無縫集成,提高效率,并解決特定的運營挑戰(zhàn)。

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光子集成的增長悖論

幾十年來,業(yè)界一直預期光子學將遵循與電子學類似的規(guī)模增長軌跡。然而,盡管光子集成電路(PICs)已在電信、數(shù)據(jù)中心和傳感領域實現(xiàn)了突破,但其發(fā)展卻因其高昂的成本而受到嚴重阻礙。與電子學不同,在電子學領域,摩爾定律持續(xù)推動著小型化和效率的極限,而光子學則面臨著不同但根本性的挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)包括制造偏差、復雜的材料相互作用以及大規(guī)模量產優(yōu)質無源結構(如 M2、M8B、耦合器等)的困難。盡管存在這些挑戰(zhàn),設計、制造和工藝優(yōu)化方面的進步仍在持續(xù)推動該領域的進展。光子產業(yè)正在開發(fā)新一代收發(fā)器,目標是每 2-3 年速率翻倍,同時努力降低 PIC 的總成本。

晶圓性能偏差:待克服的挑戰(zhàn)

光子制造,尤其是在晶圓和芯片級別,帶來了直接影響良率、效率和上市時間的獨特挑戰(zhàn):

低良率— 光刻、蝕刻中的納米級尺寸偏差導致顯著的性能差異。因此,在晶圓級測試中,PIC 芯片的良率在業(yè)內通常在 50-90% 范圍內,并且隨著電路復雜度的增加,這一趨勢將持續(xù)。

更復雜的設計 — 隨著設計變得更加復雜,缺陷率上升,整體良率降低。由于工藝可變性增大,制造效率下降,需要更嚴格的控制和先進的制造技術。添加熱移相器可以減少這些偏差,但需要額外的芯片空間,從而增加了有源電控制的成本和復雜性。更大更復雜的結構會延長熱循環(huán)時間,拖慢原型制作和測試速度,進而延遲上市時間。

功耗問題 — 熱移相器作為應對工藝偏差的標準調諧方法,在運行期間為調節(jié)和維持相位消耗過多能量。這種低效性限制了光子系統(tǒng)的可擴展性。

解決方案:光子微調

我們推出了一種創(chuàng)新的激光微調解決方案,專為光子晶圓的精確需求而定制。我們專有的光纖激光技術能夠在波導層級直接實現(xiàn)高精度的永久性修正。該激光解決方案包括激光源、帶在線視覺系統(tǒng)的激光頭以及先進的控制軟件。該解決方案也可改裝接入標準的微米級測試站,F(xiàn)iconTEC 是我們首個設計導入案例。設計中所有元素都針對高精度、穩(wěn)健性、大視場和操作簡便性進行了優(yōu)化,確保與現(xiàn)有制造工藝的無縫集成。此外,這種非侵入性技術最大程度地減少了光學損耗,

同時保持了光子集成電路(PICs)的完整性和性能。

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激光微調的作用

激光微調工藝涉及圖形識別、無需電探測的主動對準以及光學測量,以確保電路的最佳性能。

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應用領域:

  • 平衡馬赫-曾德爾調制器 (MZM) 臂長

  • 微調環(huán)形諧振器頻率

  • 校正相位誤差

  • 均衡多路復用器/解復用器通道

  • 補償制造偏差

目標用戶

  • 光子集成電路(PIC)設計師

  • 光子晶圓廠 / 代工廠

  • 集成器件制造商

  • 使用 PIC 的模塊和系統(tǒng)公司

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